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规格参数
曝光框架 采用伺服驱动双框架,独立参数设置 相机视野尺寸 5MM*5MM
光源 UV LED光源 产速 1~1.5panels/min
操作界面及语言 17”工业显示器,中英文界面 设备使用环境 10.000级无尘室
做板尺寸 MIN:305MM*250MM 曝光最大升温 MAX+2℃
MAX:534MM*610MM 照度分布均匀性 534*610MM>85%
板厚范围 0.5MM~3.2MM 平行半角 Θc/2<1.5°
底片尺寸 610MM*660MM 倾斜角 Θd/≤3°
出光照度 18MW/CM²(曝光面未经玻璃照度) 设备空调尺寸 1150MM*850MM*2200MM
相机数量 4个 电源需求 220/380V,60/50HZ,3φ 4W.19KVA
灯光波长 395nm 冷却水要求 2.5~3KG,7~10℃,60L/MIN
设备控制方式 全机采用工业电脑系统控制 空压要求 150~200L/MIN12mm5.5KG/CM²
解析能力 65μm/65μm(显影后) 曝光玻璃 强力钢化高透光玻璃
底片固定方式 底片真空吸附 设备外形尺寸 2500MM*1500MM*1800MM
照度分布均匀性 534*610MM>90% 灯类型 UV LED<3KW
空调尺寸 内置空调 上下底片重复精度 2CCD≤10μm